半導體制造中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,由于工藝總是在凈化室中由人的參與 進行,所以半導體圓片不可避免的被各種雜質(zhì)污染。根據(jù)污染物的來源、性質(zhì)等,大致可分為顆粒、有機物、金屬離子和氧化物四大類。
1.1 顆粒
顆粒主要是一些聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)等。這類污染物通常主要依靠范德瓦爾斯吸引力 吸附在圓片表面,影響器件光刻工序的幾何圖形的形成及電學參數(shù)。這類污染物的去除方法主要以物理或化學的方法對顆粒進行底切,逐漸減小其與圓片表面的接觸面積,最終將其去除。
1.2 有機物
有機物雜質(zhì)的來源比較廣泛,如人的皮膚油脂、細菌、機械油、真空脂、光刻膠、清洗溶劑等。這類污染物通常在圓片表面形成有機物薄膜阻止清洗液到達圓片表面,導致圓片表面清洗不徹底,使得金屬雜質(zhì)等污染物在清洗之后仍完整的保留在圓片表面。這類污染物的去除常常在清洗工序的第一步進行 PMT-2液體顆粒計數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng) 光刻膠中的顆粒主要來源于以下幾個方面:1. 光刻膠本身:由于光刻膠在生產(chǎn)過程中可能會混入一些雜質(zhì) 首先,我們要明確一個觀點:液體顆粒在玻尿酸在線監(jiān)測管控對于企業(yè)的生產(chǎn)和發(fā)展至關重要 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,水廠顆粒計數(shù)器 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,水廠顆粒計數(shù)器 水中顆粒計數(shù)器OPC-2300在使用中的注意事項顆粒物計數(shù)器OPC-2300在使用中的注意事項:顆粒物計數(shù)器OPC-2300是一種精密度較高的儀器?因此在使用過程中需進行必要的維護 ?以保證測定值的準確性 。下圖在線顆粒計數(shù)器的安裝示意圖?結合下圖示說明一下顆粒物計數(shù)儀在使用中的注意事項 普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器在過濾器中的顆粒管控應用案例 在工業(yè)生產(chǎn)中,普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器已成為PP棉芯顆粒管控的重要工具 首先 清劑化學品雜質(zhì)來源主要由以下幾種方式引入:一是原料帶入 隨著科技和現(xiàn)代工業(yè)的進步與發(fā)展 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀 水中顆粒計數(shù)器,水中顆粒計數(shù)儀,在線顆粒計數(shù)儀,水中顆粒監(jiān)測儀 1.液體顆粒計數(shù)和顆粒尺寸分級的幾種選擇 潔凈室清潔擦拭產(chǎn)品的濕態(tài)發(fā)塵量(lpc)是潔凈室擦拭產(chǎn)品潔凈性能的關鍵指標之一 活塞桿—顧名思義 英國普洛帝分析測試集團近日推出完全滿足工程機械行業(yè)液壓油的顆粒計數(shù)器檢測標準:NAS1638 、ISO4406相關產(chǎn)品
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