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半導體的污染雜質(zhì)和分類二

來源:普洛帝測控原創(chuàng)
發(fā)布時間:2022-03-09
關(guān)鍵詞:
液體顆粒計數(shù)儀
顆粒計數(shù)器
普洛帝
PMT-2液體顆粒計數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器
,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)
,可以對清洗劑
、半導體
、超純水
、電子產(chǎn)品
、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析
,目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。

1.3  金屬

半導體工藝中常見的金屬雜質(zhì)有鐵

、銅、鋁
、 鉻
、鎢 、鈦
、鈉
、鉀
、鋰等
,這些雜質(zhì)的來源主要有:各種器皿
、管道
、化學試劑,以及半導體圓片加工過程中
,在形成金屬互連的同時,也產(chǎn)生了各種金屬污染
。這類雜質(zhì)的去除常采用化學方法進行,通過各種試劑和化學藥品配制的清洗液與 金屬離子反應
,形成金屬離子的絡(luò)合物
,脫離圓片表面

1.4  氧化物

半導體圓片暴露在含氧氣及水的環(huán)境下表 面會形成自然氧化層

。這層氧化薄膜不但會妨礙 半導體制造的許多工步
,還包含了某些金屬雜

PMT-2液體顆粒計數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)

,可以對清洗劑、半導體
、超純水、電子產(chǎn)品
、平板玻璃
、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析
,目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品


相關(guān)產(chǎn)品

P-LIMS 2.0油液監(jiān)測管理系統(tǒng)
光刻膠液體顆粒計數(shù)器
光刻膠液體顆粒計數(shù)器
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型號:PMT-2

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    。2. 環(huán)境:光刻膠在使用過程中,可能會被環(huán)境中的顆粒所污染
    ,如空氣中的顆粒
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    首先,我們要明確一個觀點:液體顆粒在玻尿酸在線監(jiān)測管控對于企業(yè)的生產(chǎn)和發(fā)展至關(guān)重要

    。在這個方案中
    ,我們將詳細介紹如何通過引入先進的監(jiān)測設(shè)備和技術(shù)
    ,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量
    ,降低不良品率和產(chǎn)品退貨率。我們成功引入了高精度的液體顆粒計數(shù)器
    ,對生產(chǎn)產(chǎn)品的在線顆粒監(jiān)測和分析,都是普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器的經(jīng)典應用

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    。下圖在線顆粒計數(shù)器的安裝示意圖?結(jié)合下圖示說明一下顆粒物計數(shù)儀在使用中的注意事項 。1.需定期對濾網(wǎng)進行檢查和清洗 ?一方面

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    。在工業(yè)生產(chǎn)中
    ,液體顆粒計數(shù)器應用于過濾器顆粒管控
    ,可以實時監(jiān)測液體中顆粒的數(shù)量和大小
    。例如
    ,某生產(chǎn)線上需要過濾掉液體中的雜質(zhì)顆粒,以確保產(chǎn)品的純度和質(zhì)量
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    在工業(yè)生產(chǎn)中,普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器已成為PP棉芯顆粒管控的重要工具

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    ,有效地提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。在PP棉芯顆粒管控中
    ,普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器的作用主要是對液體中顆粒的數(shù)量和大小進行精確測量
    。這種設(shè)備采用先進的光學原理和計算機技術(shù),能夠快速
    、準確地檢測出液體中

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    隨著科技和現(xiàn)代工業(yè)的進步與發(fā)展

    ,許多行業(yè)對工作 介質(zhì)(氣體和液體)以及生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度(污染度)檢 測提出了越來越高的要求。為了定量描述介質(zhì)的清潔程度
    , 世界上很多國家都制定了潔凈度檢測和控制標準
    ,將介質(zhì) 中微小顆粒污染物的數(shù)量和粒徑大小作為衡量其潔凈度的 重要指標。檢測液體介質(zhì)中顆粒的方法有很多
    ,有間接通

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    1.液體顆粒計數(shù)和顆粒尺寸分級的幾種選擇。光學顯微鏡和電子掃描顯微鏡的結(jié)合使用

    ,可將顆粒分成粒徑<5μm
    ,5~100μm,粒徑>100μm三個等級
    。該方法的檢測限由過濾器孔徑?jīng)Q定
    。普洛帝擦拭布液體顆粒計數(shù)器檢測,基于設(shè)備型號
    ,模型和傳感器
    ,通常將顆粒分為粒徑<20μm和20-100μm(見提示)
    。大多數(shù)普洛帝擦拭布液

  • 20
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    潔凈室清潔擦拭產(chǎn)品的濕態(tài)發(fā)塵量(lpc)是潔凈室擦拭產(chǎn)品潔凈性能的關(guān)鍵指標之一

    ,在要求高性能清潔擦拭,尤其是使用到液體
    、清潔劑清潔或在液體中做清潔時
    ,濕態(tài)發(fā)塵量將直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量,壽命等產(chǎn)品關(guān)鍵性能指標
    。但是目前潔凈室用中清潔擦拭用品濕態(tài)發(fā)塵量(lpc)的檢測方法主要依據(jù)美國國家環(huán)境協(xié)會的iest-rp-cc00

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    2022-12

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    ,大部分應用在油缸
    、氣缸運動執(zhí)行部件中,是一個運動頻繁
    、技術(shù)要求高的運動部件
    。以液壓油缸為例,由:缸筒
    、活塞桿(油缸桿)、活塞
    、端蓋幾部分組成
    。其加工質(zhì)量的好壞直接影響整個產(chǎn)品的壽命和可靠性
    。活塞桿在制造過程中
    ,有一步工藝
    ,需要對活塞表面的清潔度進行檢測,如果表

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    2022-03

    英國普洛帝分析測試集團近日推出完全滿足工程機械行業(yè)液壓油的顆粒計數(shù)器檢測標準:NAS1638

    、ISO4406、GB/T14039
    ,它的雙激光窄光傳感器再創(chuàng)穩(wěn)定性
    、長壽命、準確性新高

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