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如何判斷半導(dǎo)體晶圓的清潔度?

來源:普洛帝測控原創(chuàng)
發(fā)布時間:2022-03-09
關(guān)鍵詞:
液體顆粒計數(shù)器
第八代雙激光窄光顆粒檢測
普洛帝
中國藥典2020版
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展
,對工藝技術(shù)的要求越來越高,特別是對半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴
,其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴重影響器件的質(zhì)量和成品率,在目前的集成電路生產(chǎn)中
,由于圓片表面沾污問題
,仍有50%以上的材料被損失掉

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對工藝技術(shù)的要求越來越高,特別是對半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴

,其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴重影響器件的質(zhì)量和成品率
,在目前的集成電路生產(chǎn)中
,由于圓片表面沾污問題
,仍有50%以上的材料被損失掉

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,幾乎每道工序中都需要進行清洗

,圓片清洗質(zhì)量的好壞對器件性能有嚴重的影響。正是由于圓片清洗是半導(dǎo)體制造工 藝中最重要
、最頻繁的工步,而且其工藝質(zhì)量將直接影響到器件的成品率
、性能和可靠性
,所以國內(nèi) 外各大公司
、研究機構(gòu)等對清洗工藝的研究一直 在不斷地進行
。目前已研制出的圓片清洗技術(shù)有:濕 法化學清洗、超聲清洗
、兆聲清洗
、鼓泡清洗、擦洗
、高壓噴射法
、離心噴射法
、流體力學法
、流體動力學法、干法清洗
、微集射束流法、激光束清洗
、冷凝噴霧技術(shù)、汽相清洗
、非浸潤液體噴射法、在線真空清洗
、RCA 清洗、等離子體清洗
、原位水沖洗等。這些方法和技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體圓片的清洗工藝中

如何判斷晶圓是否達到一定的清潔度。一個重要的途徑就是判斷清洗晶圓的溶液的潔凈度

。PMT-2液體顆粒計數(shù)儀采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可以對清洗劑
、半導(dǎo)體
、超純水
、電子產(chǎn)品、平板玻璃
、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析
,目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品


相關(guān)產(chǎn)品

在線式(遠程)激光粒子計數(shù)器
在線式(遠程)激光粒子計數(shù)器
品牌:普洛帝/PULUODY
型號:DPC-2623
臺式液體顆粒計數(shù)器
液體顆粒監(jiān)測儀
液體顆粒監(jiān)測儀
品牌:卡爾德/CALDEE
型號:OPC-2300
關(guān)鍵詞: 液體顆粒監(jiān)測儀
超純水液體粒子計數(shù)器
超純水液體粒子計數(shù)器
品牌:普洛帝/PULUODY
型號:UP-200
顯微鏡不溶性微粒分析系統(tǒng)
顯微鏡不溶性微粒分析系統(tǒng)
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OPC-Ex防爆型在線液體顆粒計數(shù)器
PQ-2A自動鐵量儀
PQ-2A自動鐵量儀
品牌:卡爾德/CALDEE
型號:PQ-2A
關(guān)鍵詞: 自動鐵量儀
普洛帝
PRF-S2C流成像圖像法鐵譜分析系統(tǒng)
PRF-S2C流成像圖像法鐵譜分析系統(tǒng)
品牌:普洛帝/PULUODY
型號:PRF-S2C
油液監(jiān)測金屬磨粒傳感器
油液監(jiān)測金屬磨粒傳感器
品牌:普洛帝/PULUODY
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  • 22
    2023-12

    光刻膠中的顆粒主要來源于以下幾個方面:1. 光刻膠本身:由于光刻膠在生產(chǎn)過程中可能會混入一些雜質(zhì),或者在儲存過程中發(fā)生改變

    ,導(dǎo)致光刻膠內(nèi)顆粒數(shù)量的增加。2. 環(huán)境:光刻膠在使用過程中
    ,可能會被環(huán)境中的顆粒所污染
    ,如空氣中的顆粒、操作人員的手套
    、器皿等。3. 其他因素:如光刻膠的混合
    、儲存和運輸?shù)冗^程中
    ,都可能

  • 22
    2023-12

    首先

    ,我們要明確一個觀點:液體顆粒在玻尿酸在線監(jiān)測管控對于企業(yè)的生產(chǎn)和發(fā)展至關(guān)重要。在這個方案中
    ,我們將詳細介紹如何通過引入先進的監(jiān)測設(shè)備和技術(shù)
    ,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量
    ,降低不良品率和產(chǎn)品退貨率。我們成功引入了高精度的液體顆粒計數(shù)器
    ,對生產(chǎn)產(chǎn)品的在線顆粒監(jiān)測和分析
    ,都是普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器的經(jīng)典應(yīng)用

  • 29
    2023-11

    普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器在過濾器中的顆粒管控應(yīng)用案例

    。在這個場景中,有效監(jiān)控過濾器性能和液體顆粒數(shù)量成為保持產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵
    。在工業(yè)生產(chǎn)中,液體顆粒計數(shù)器應(yīng)用于過濾器顆粒管控
    ,可以實時監(jiān)測液體中顆粒的數(shù)量和大小。例如
    ,某生產(chǎn)線上需要過濾掉液體中的雜質(zhì)顆粒
    ,以確保產(chǎn)品的純度和質(zhì)量
    。通過安裝液體

  • 29
    2023-11

    在工業(yè)生產(chǎn)中

    ,普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器已成為PP棉芯顆粒管控的重要工具。其在制藥
    、生物
    、化工等領(lǐng)域的應(yīng)用
    ,有效地提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量
    。在PP棉芯顆粒管控中,普洛帝PMT-2液體顆粒計數(shù)器的作用主要是對液體中顆粒的數(shù)量和大小進行精確測量。這種設(shè)備采用先進的光學原理和計算機技術(shù)
    ,能夠快速
    、準確地檢測出液體中

  • 29
    2023-11

    首先

    ,我們要明確一個觀點:液體顆粒在玻尿酸在線監(jiān)測管控對于企業(yè)的生產(chǎn)和發(fā)展至關(guān)重要。在這個方案中
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  • 29
    2023-11

    清劑化學品雜質(zhì)來源主要由以下幾種方式引入:一是原料帶入

    。即需要凈化的原料本身的雜質(zhì);二是外界引入
    。由于高純電子級酸多具有強腐蝕性,在實驗和存貯過程中接觸的器皿如不銹鋼設(shè)備 、管道
    、泵閥
    、螺絲等
    ,塑料設(shè)備和包裝存貯材料(往往含有增塑劑增強劑)
    ,在長期使用過程中可能存在

  • 29
    2023-11

    隨著科技和現(xiàn)代工業(yè)的進步與發(fā)展

    ,許多行業(yè)對工作 介質(zhì)(氣體和液體)以及生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度(污染度)檢 測提出了越來越高的要求。為了定量描述介質(zhì)的清潔程度
    , 世界上很多國家都制定了潔凈度檢測和控制標準
    ,將介質(zhì) 中微小顆粒污染物的數(shù)量和粒徑大小作為衡量其潔凈度的 重要指標
    。檢測液體介質(zhì)中顆粒的方法有很多
    ,有間接通

  • 20
    2023-02

    1.液體顆粒計數(shù)和顆粒尺寸分級的幾種選擇。光學顯微鏡和電子掃描顯微鏡的結(jié)合使用

    ,可將顆粒分成粒徑<5μm,5~100μm
    ,粒徑>100μm三個等級
    。該方法的檢測限由過濾器孔徑?jīng)Q定
    。普洛帝擦拭布液體顆粒計數(shù)器檢測
    ,基于設(shè)備型號,模型和傳感器
    ,通常將顆粒分為粒徑<20μm和20-100μm(見提示)。大多數(shù)普洛帝擦拭布液

  • 20
    2023-02

    潔凈室清潔擦拭產(chǎn)品的濕態(tài)發(fā)塵量(lpc)是潔凈室擦拭產(chǎn)品潔凈性能的關(guān)鍵指標之一

    ,在要求高性能清潔擦拭,尤其是使用到液體
    、清潔劑清潔或在液體中做清潔時
    ,濕態(tài)發(fā)塵量將直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量
    ,壽命等產(chǎn)品關(guān)鍵性能指標。但是目前潔凈室用中清潔擦拭用品濕態(tài)發(fā)塵量(lpc)的檢測方法主要依據(jù)美國國家環(huán)境協(xié)會的iest-rp-cc00

  • 27
    2022-12

    活塞桿—顧名思義

    ,是支持活塞做功的連接部件
    ,大部分應(yīng)用在油缸、氣缸運動執(zhí)行部件中
    ,是一個運動頻繁
    、技術(shù)要求高的運動部件
    。以液壓油缸為例,由:缸筒
    、活塞桿(油缸桿)
    、活塞、端蓋幾部分組成。其加工質(zhì)量的好壞直接影響整個產(chǎn)品的壽命和可靠性
    ?div id="4qifd00" class="flower right">
    ;钊麠U在制造過程中
    ,有一步工藝,需要對活塞表面的清潔度進行檢測
    ,如果表

  • 10
    2022-03

    英國普洛帝分析測試集團近日推出完全滿足工程機械行業(yè)液壓油的顆粒計數(shù)器檢測標準:NAS1638

    、ISO4406
    、GB/T14039,它的雙激光窄光傳感器再創(chuàng)穩(wěn)定性
    、長壽命
    、準確性新高

  • 04
    2022-03

    英國普洛帝分析測試集團分析儀器事業(yè)部在倫敦和西安兩地向液體顆粒檢測行業(yè)發(fā)布其新一代升級技術(shù),通過使用物聯(lián)網(wǎng)

    、數(shù)據(jù)分析
    、機器學習和AI技術(shù)
    ,使用戶準確得到液體顆粒檢測數(shù)據(jù)
    ,將檢測中的參數(shù)設(shè)定,校準標定
    ,測試信息數(shù)據(jù)化
    、智慧化
    ,最后達到快速,有效
    ,個性化的的不同場景的創(chuàng)新應(yīng)用。

  • 25
    2022-02

    不溶性微粒檢查儀對大輸液的顆粒管控

    ,遵循中國藥典2020版附錄C0903不溶性微粒檢查法的不溶性微粒檢查,同時可以進行在線過程質(zhì)量控制和產(chǎn)品評價

  • 22
    2023-12

    液體顆粒計數(shù)檢測原理及應(yīng)用領(lǐng)域隨著科技和現(xiàn)代工業(yè)的進步與發(fā)展,許多行業(yè)對工作 介質(zhì)(氣體和液體)以及生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度(污染度)檢 測提出了越來越高的要求

    。為了定量描述介質(zhì)的清潔程度
    , 世界上很多國家都制定了潔凈度檢測和控制標準,將介質(zhì) 中微小顆粒污染物的數(shù)量和粒徑大小作為衡量其潔凈度的 重要指標
    。檢測液體介質(zhì)

  • 22
    2023-03

    驅(qū)動未來,智在必行

    ,PULUODY ANDLYSIS & TESTING GROUP LTD.和2023西安青島先進技術(shù)創(chuàng)新成果交流展覽會一起綻放
    ,將給您呈現(xiàn)最耀眼的流體監(jiān)測技術(shù)和設(shè)備。2023年3月29日-3月31日
    ,青島世界博覽城國際會展中心
    ,我們期待與您相會

  • 18
    2022-03

    PULUODY公司以提供液體顆粒檢測技術(shù)具有50余年的歷史,不斷推出各類高精度

    、高穩(wěn)定性
    、長壽命的分析測試技術(shù),全面滿足各領(lǐng)域的要求
    。其中,普洛帝液體顆粒監(jiān)測技術(shù)第九代雙激光窄光檢測器可實現(xiàn)快速
    、準確測試,出眾的穩(wěn)定性和準確性
    ,是面向未來的多領(lǐng)域分析技術(shù)
    ,是新一代顆粒檢測科研成果。

  • 28
    2023-01

    不同的化學品

    ,顆粒管控的粒徑值不一樣,通過粒徑大小的管控
    ,對原材料進行清潔度等級的區(qū)分。一般的化學品有2個級別的管控
    ,0.1um和0.05um兩個級別
    ,但電解液的顆粒管控卻沒有提出明確的粒徑管控。這個就會對電解液的清潔度標準造成影響
    。究竟管控多少微米的顆粒才是符合生產(chǎn)標準的
    ?這個問題一直困擾著一些生產(chǎn)企業(yè)。就這個問題
    ,筆者走訪了普洛帝測控研發(fā)技術(shù)總工郭工,郭工在顆粒管控行業(yè)有及其豐富的實操經(jīng)驗,根據(jù)多年來的技術(shù)研發(fā)
    ,他給出了中肯的回答:“電解液顆粒管控行業(yè)內(nèi)有個默認的粒徑值,就是管控1um以上的顆粒
    ,從而判定電解液的清潔度
    。國內(nèi)的一些大型的蓄電池企業(yè)都用的這個標準,對于一些企業(yè)要求管控0.5um的顆粒
    ,是極少企業(yè)的工藝要求
    。所以,對于大部分企業(yè)
    ,對電解液的顆粒管控做到1um以上就可以了。不一定非要做到0.5um的顆粒管控
    。對于電解液這個特殊材質(zhì)
    ,1um以上的顆粒管控更加適合
    ?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">!毕Mさ拇饛?fù)能夠給到一些持有疑問的人一些借鑒和參考。

  • 28
    2023-01

    電解液有生物質(zhì)電解液和化學品的電解液

    ,這里著重點是在化學品行業(yè)的電解液。電解液是蓄電池生產(chǎn)制造業(yè)的重要原材料
    ,電解液的清潔度高低直接影響到蓄電池成品的質(zhì)量
    ,所以,對電解液的顆粒管控就顯得尤為重要
    。目前蓄電池行業(yè)對電解液的顆粒管控多是1um以上,隨著制造工藝要求的提高
    ,有的企業(yè)對顆粒的管控下限延伸到0.5um的
    ,這個指標對管控儀器的檢測精度就有更高的要求。流體測控專家----普洛帝測控技術(shù)經(jīng)過多年的潛心研發(fā),推出一款電解液顆粒管控專用儀器----PMT-2
    。這款儀器采用普洛帝第八代雙激光窄光技術(shù)
    ,雙精密流量計量系統(tǒng),是普洛帝精心打造的一款高性能
    、高性價比的儀器
    。目前PMT-2已經(jīng)在國內(nèi)多家蓄電池原材料制造企業(yè)得到應(yīng)用,給電解液顆粒管控注入了新的活力
    。解決電解液顆粒管控問題
    ,一定要用PMT-2電解液專用液體顆粒計數(shù)器。?

  • 28
    2023-01

    鉛酸蓄電池正極活性物質(zhì)是二氧化鉛

    ,負極活性物質(zhì)是海綿鉛,電解液是稀硫酸溶液
    。作用如下:其一
    ,起到電化學反應(yīng)的作用,電瓶放電時
    ,電極板吸收電解液中的硫酸
    ,釋放電能
    ,沒有電解液
    ,電瓶是不能放出電能的
    ,電瓶充電時
    ,電極板釋放出放電時吸收的硫酸,使電極板恢復(fù)到初始狀態(tài)
    ;其二
    ,起到導(dǎo)電的作用,電瓶的正負電極板是互相絕緣的
    ,沒有電解液就不能形成電流回路
    ,而電解液是由不導(dǎo)電的純蒸餾水加入硫酸配制成的,蒸餾水加入硫酸后就成了能導(dǎo)電的媒質(zhì)
    ,電瓶正負電極板之間才能夠在外電路掛上負載,形成完整的電流回路時
    ,電流才能夠在電瓶內(nèi)暢通,有電流通過電極板才能產(chǎn)生電化學反應(yīng)
    ,充電或放電

  • 16
    2022-11

    在技術(shù)崗工作的多年來,一直都能靠自己專業(yè)的知識解決產(chǎn)線上的工藝問題

    ?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">?蛇@次的問題真是難倒我了。產(chǎn)線上硫酸銅液體的顆粒管控
    ,怎么測都是不達標的。正在苦悶中
    ,大學同學打來電話給我分享他們新購置了一臺測控硫酸銅的液體顆粒計數(shù)器
    。真是一個大好的消息。電話完畢
    ,他給我推薦了普洛帝技術(shù)郭工的電話
    。我迫不及待地打通了郭工的電話,郭工耐心
    、專業(yè)地給我初步解答了我的疑問
    。并約好周一帶儀器來我單位現(xiàn)場檢測。

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