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電子級(jí)硫酸顆粒管控的難點(diǎn)及解決方法

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發(fā)布時(shí)間:2023-04-27
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電子級(jí)硫酸顆粒管控的難點(diǎn)及解決方法
近期普洛帝測(cè)控液體顆粒計(jì)數(shù)器部門(mén)接到好幾個(gè)咨詢電話
,都是咨詢管控電子級(jí)硫酸的儀器。什么是電子級(jí)硫酸
?電子級(jí)硫酸又稱(chēng)高純硫酸
、超純硫酸
,屬于超凈高純?cè)噭?div id="m50uktp" class="box-center"> ,是一種微電子技術(shù)發(fā)展過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。電子級(jí)硫酸有哪些應(yīng)用
?電子級(jí)硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體
、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過(guò)程
,主要用于硅

近期普洛帝測(cè)控液體顆粒計(jì)數(shù)器部門(mén)接到好幾個(gè)咨詢電話
,都是咨詢管控電
子級(jí)硫酸的儀器。
什么是電子級(jí)硫酸
電子級(jí)硫酸又稱(chēng)高純硫酸、超純硫酸
,屬于超凈高純?cè)噭?div id="m50uktp" class="box-center"> ,是一種微電子技
術(shù)發(fā)展過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。
電子級(jí)硫酸有哪些應(yīng)用
電子級(jí)硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體
、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過(guò)程,主要
用于硅晶片的清洗和蝕刻
,可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒,無(wú)機(jī)殘留物和碳沉積
為什么要對(duì)電子級(jí)硫酸進(jìn)行顆粒管控
電子級(jí)硫酸的純度和潔凈度對(duì)電子元的件成品率
、電性能及可靠性有著重要
的影響
電子級(jí)硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學(xué)品,主要用于去除晶
圓片上殘留的金屬和有機(jī)物雜質(zhì)
,質(zhì)量要求高,產(chǎn)品中金屬離子須達(dá)到
ppt 級(jí)
目前
,我國(guó)電子級(jí)硫酸產(chǎn)品完全依賴德國(guó)
BASF 等外企進(jìn)口
,嚴(yán)重制約我國(guó)
芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展
,是主要
卡脖子產(chǎn)品之一
近兩年,我國(guó)電子級(jí)硫酸制備技術(shù)取得突破
,產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高,電子級(jí)硫
酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于 10ppt
,超越了國(guó)際
SEMI-C12(金屬離子<100ppt
級(jí)別
,與國(guó)際電子化學(xué)品供應(yīng)量最大
、品質(zhì)最好的巴斯夫電子級(jí)硫酸品質(zhì)處同一
級(jí)(金屬離子<10ppt
,達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流水平
基于上述原因
,我國(guó)新的電子級(jí)硫酸標(biāo)準(zhǔn)將于
2023 5 1 日正式施行
也將顆粒管控提到了標(biāo)準(zhǔn)管控層面
電子級(jí)硫酸管控有哪些難點(diǎn)
有 2 個(gè)
,一個(gè)是硫酸的腐蝕性,一個(gè)是硫酸的濃度。98%濃度的電子級(jí)硫酸
的腐蝕性很強(qiáng)
,這個(gè)就要求顆粒管控的儀器的耐強(qiáng)腐蝕很強(qiáng)。高濃度的硫酸檢測(cè)
接液材質(zhì)達(dá)不到這個(gè)檢測(cè)濃度就無(wú)法需要稀釋檢測(cè),稀釋又會(huì)存在手動(dòng)稀釋和自
動(dòng)稀釋的問(wèn)題
,都是給電子級(jí)硫酸檢測(cè)無(wú)形中增加了麻煩
如何解決?
針對(duì)這 2 個(gè)問(wèn)題
,普洛帝研發(fā)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)反復(fù)試驗(yàn)
,攻破了這 2 個(gè)難點(diǎn),將電
子級(jí)硫酸的檢測(cè)濃度提升到 98%
。在高濃度強(qiáng)酸性的情況下
,依然可以實(shí)現(xiàn)顆粒
管控的準(zhǔn)確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號(hào) PMT-2
,選用 0.1-1.0um
檢測(cè)范圍的強(qiáng)腐蝕性傳感器,實(shí)現(xiàn)了電子級(jí)硫酸的顆粒管控目的
。目前
,已經(jīng)在
江蘇、廣東等地的電子級(jí)硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應(yīng)用

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